Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxide-Schichten für Silizium-Dünnschicht-solarzellen

Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxide-Schichten für Silizium-Dünnschicht-solarzellen

by Jürgen Hüpkes

Book 52 of Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energietechnik -- Bd. 52 = -- Schriften des Forschungszentrums Jülich. Energy technology -- v.

2006

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