Synthesen, Reaktionen und Strukturen von 1,4-Diaza-1,3-butadien(DAD)-Komplexen des Ti, Ba, Y und Yb und Anwendung von DADTi-Komplexen zur Abscheidung von Titan-Nitrid-Schichten über das R-PECVD-Verfahren
by Hans Joachim Rieger
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