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Marcus Hacke
Aufbau einer Molekularstrahlepitazie-Anlage zur Herstellung von CoSi₂/Si-Heterostrukturen und in Silizium vergrabener SiO[subscript x]-Schichten sowie Charakterisierung dieser Schichtsysteme
![Aufbau einer Molekularstrahlepitazie-Anlage zur Herstellung von CoSi₂/Si-Heterostrukturen und in Silizium vergrabener SiO[subscript x]-Schichten sowie Charakterisierung dieser Schichtsysteme](https://s3.amazonaws.com/readfeedstatic/book_covers/thumbnails/rf-placeholder.png)